這項突破性技術使生命科學和醫療保健領域實現可擴展、高精度的生物傳感器應用成為可能
比利時魯汶2025年12月10日 /美通社/ --
- Imec首次成功在300毫米晶圓上采用EUV光刻技術制造晶圓級固態納米孔。 這項創新將納米孔技術從實驗室規模的概念轉化為可擴展的平臺，適用于生物傳感、基因組學和蛋白質組學領域。
- 納米孔技術被譽為基因組學和蛋白質組學的變革者，但迄今為止，固態納米孔因存在變異性和集成難題，始終未能實現大規模生產。 Imec的突破為高通量、兼容CMOS的生物傳感器陣列鋪平了道路，有望推動個性化醫療、快速診斷和分子數據存儲的開發。
- 其采用EUV光刻技術在300毫米晶圓上實現了晶圓級制造，制備出尺寸小至約10納米的納米孔，且在整個晶圓上具有高度均勻性。 該制造工藝有潛力實現小于5納米孔徑，隨著工藝集成技術的進一步改進，有望取得更大突破。 電氣和生物分子易位表征顯示其信噪比高達6.2。
- "Imec具有實現這一飛躍的獨特優勢。 我們可將傳統上用于存儲和邏輯領域的EUV光刻技術應用于生命科學領域。 利用我們的光刻基礎設施，我們已證明能以分子傳感所需的精度大規模制造固態納米孔，"imec的第一作者及研發項目經理Ashesh Ray Chaudhuri表示， "這為醫療保健及其他領域的高通量生物傳感器陣列創造了可能。"
關于imec
Imec是先進半導體技術領域世界領先的研究和創新中心。 Imec利用一流的研發基礎設施和6,500多名員工的專業知識，推動半導體和系統擴展、人工智能、硅光子學、連接和傳感領域的創新。
Imec的先進研究為各行各業的突破提供支持，包括計算機、健康、汽車、能源、信息娛樂、工業、農業食品生產和安全。 通過IC-Link平臺，imec為企業提供芯片研發全流程指導——從初始概念到大規模量產，從而打造定制化解決方案，精準滿足最前沿的設計與生產需求。
Imec與半導體價值鏈的全球領先企業以及佛蘭德斯地區和全球的科技企業、初創企業、學術界和研究機構開展合作。 Imec總部位于比利時魯汶，在比利時、歐洲各地和美國設有研究設施，并在三大洲設有代表處。 2024年，imec報告營收10.34億歐元。 如需了解更多信息，請訪問www.imec-int.com
完整新聞稿：https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
